Eksimer lazer deb ataladigan narsa hayajonlangan dimerlar tomonidan ishlab chiqarilgan lazerni anglatadi. Bu turg'un molekula bo'lmagani uchun eksimer deb ataladi. Bu tez o'tuvchi molekula bo'lib, bir vaqtlar lazer bilan aralashgan gazning tashqi energiya ta'siridan kelib chiqqan bir qator fizik va kimyoviy reaktsiyalarda hosil bo'lgan. Uning umri faqat bir necha o'nlab. Nanosekund, eksimer lazer pulsli lazerning bir turi bo'lib, u turli to'lqin uzunliklarida lazer hosil qiladi, chunki rezonans bo'shlig'i turli xil nodir gazlar va halogen gazlar aralashmalari bilan to'ldirilgan. To'lqin uzunligi diapazoni 157-353nm.
Lazerli shox parda jarrohligida ishlatiladigan ishchi gaz ArF bo'lib, u ultrabinafsha nurlar to'lqini bo'lgan 193 nm eksimer lazerni ishlab chiqaradi. Har bir lazer nuri to'qimalarga tushganda, u to'qimalar molekulalarini bug'lashi mumkin, shuning uchun u to'g'ri bo'ladi Intensivlik juda yuqori va sovuq lazer bo'lgani uchun u nurlangan qismning yonidagi to'qimalarga termal ta'sir ko'rsatmaydi. Ushbu aniq bug'lanish bilan shox pardaning qatlami aniq kesilishi mumkin, ammo bu shox pardaning tuzilishiga ta'sir qilmaydi. Salbiy ta'siri yo'q.
