Ilg'or yarimo'tkazgichli qurilmalarni ishlab chiqarish uchun, har bir jarayondan so'ng, kremniy gofret yuzasida zarrachali ifloslantiruvchi moddalar, metall qoldiqlari yoki organik qoldiqlar va boshqalar borligi ko'proq yoki kamroq bo'ladi, qurilmaning o'lchami doimiy ravishda qisqaruvchi va uch o'lchamli. zarrachalar ifloslanishi bo'yicha yarimo'tkazgich qurilma ortib murakkabligi qurilma tuzilishi, nopoklik kontsentratsiyasi va ko'proq sezgir soni.
Tozalash texnologiyasining ifloslanish zarralari yuzasida kremniy gofret niqobida yuqori talablar qo'yiladi, asosiy nuqta mikro zarralar va katta adsorbsiya o'rtasidagi substratning ifloslanishini bartaraf etishdir, hozirgi tozalash usullarining ko'plab yarimo'tkazgich ishlab chiqaruvchilari. kislotali yuvish, qo'lda tozalash, sekinning samaradorligi haqida gapirmaslik, balki ikkilamchi ifloslanishni ham keltirib chiqaradi. Yarimo'tkazgichli mahsulotlarni tozalash uchun qanday tozalash usuli ko'proq mos keladi? Lazerli tozalash hozirgi vaqtda lazer yordamida o'tmishni skanerlashda, materialning sirtidagi axloqsizlikni olib tashlash uchun ko'proq mos keladi va axloqsizlikdagi bo'shliqni osongina olib tashlash mumkin, materialning sirtini chizmaydi va ikkilamchi hosil bo'lmaydi. ifloslanish, ishonchli tanlovdir.
Integratsiyalashgan elektron qurilma hajmi qisqarishda davom etar ekan, materialning yo'qolishi va sirt pürüzlülüğünü tozalash jarayoni kerak bo'lgan muammoga aylandi, zarralar moddiy yo'qotishsiz olib tashlanadi va grafik shikastlanishlar eng asosiy talablardir, lazerni tozalash texnologiyasi kontaktsiz, Hech qanday termal ta'sir ko'rsatmaydi, tozalanadigan ob'ektga sirt zarar etkazmaydi va an'anaviy tozalash usullarining ikkilamchi ifloslanishiga olib kelmaydi, bu eritmaning afzalliklari bilan taqqoslanmaydi, bu ifloslanishni hal qilish uchun eng yaxshi tozalash usuli hisoblanadi. yarimo'tkazgichli qurilmalar.
